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上海纳动纳米位移技术有限公司

压电纳米定位控制系统

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PFC压电物镜聚焦台-上海纳动纳米位移技术有限公司
产品描述PFC-050U/080U是重载设计的压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割领域 		2022-05-30
PFB压电物镜聚焦台-上海纳动纳米位移技术有限公司
产品描述PFB-030U是重载设计直接驱动型的压电陶瓷物镜聚焦平台，是专门用于显微镜物镜的精确定位设计。典型应用为半导体晶圆切割 		2022-05-30
PFV压电物镜聚焦台-上海纳动纳米位移技术有限公司
产品描述PFV-200U压电物镜定位系统是为微调微物镜而开发的，最大运动为200 µm（闭环）。PFV-200U的分辨率非常高，实际上仅受电 		2022-05-30
X、Y、Z轴压电陶瓷扫描台-上海纳动纳米位移技术有限公司
产品描述PK3L80-200U拥有三种不同行程运动轴产品，均采用柔性机械设计而实现了无间隙的平行运动，适用于高运动平面度和直线度的 		2022-05-30
PT1C60-1200S压电旋转台-纳动纳米
产品描述单轴低压旋转平台是我们超快速的系列产品中的一项,压电旋转台可提供高达6mrad（闭环）的旋转范围和扫描范围。旋转轴位于 		2022-05-30
PT6H60-S压电纳米位移台-纳动纳米
产品描述PT6H60-S光学平台通常需要粘接镜面的位置（例如，用于光路调整），为此，平移/倾斜系统开发了一个32mm的移动台面，可在x 		2022-05-30
PT2R70-060S压电偏摆/旋转台-纳动纳米
产品描述PT2R70-060S开发θxθz轴进行超高精度定位的应用。可提供0.3mrad的行程和亚微弧度的分辨率；低移动质量和优化的闭环控制 		2022-05-30
PT3V150-180S压电偏摆/旋转台-纳动纳米
产品描述PT3V150-180S开发用于需要在光学检查和成像系统中对镜子进行超高精度定位的应用。反射镜简单地固定在平台的倾斜平台上， 		2022-05-30
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